صمام بوابة uhv
صمام البوابة فائق الفراغ (UHV Gate Valve) هو مكون حيوي في أنظمة الفراغ فائق الجودة، مصمم لتقديم عزل وتحكم موثوقين لمقصورات الفراغ. يعمل هذا الصمام المعقد باستخدام آلية بوابة تتحرك عمودياً على اتجاه التدفق، مما يخلق ختماً كاملاً عند الإغلاق. عادةً ما يتضمن بناء الصمام أجساداً من الفولاذ المقاوم للصدأ مع مواد ختم متخصصة قادرة على تحمل ظروف الفراغ الشديد، ويمكن الوصول إلى ضغوط منخفضة تصل إلى 10^-11 ميللي بار. يشمل التصميم محركاً هوائياً أو يدوياً يحرك لوحة البوابة، مما يضمن التحكم الدقيق في بيئة الفراغ. يتم تصميم هذه الصمامات مع اهتمام خاص بنقاء المواد وتوافقها، وغالباً ما تتضمن أختاماً معدنية بالكامل وبناء يمكن تسخينه ويتحمل درجات حرارة تصل إلى 200 درجة مئوية أو أعلى. تم تصميم المكونات الداخلية بعناية لتقليل إنتاج الجسيمات والتخلص من الغازات، مما يجعلها مثالية لتطبيقات حساسة في تصنيع شرائح السيليكون، ومعامل البحث، وأنظمة إيداع الأفلام الرقيقة. غالباً ما تشمل صمامات البوابة فائق الفراغ الحديثة مؤشرات الموقع، وقدرات القفل المتبادل، وخيارات الطلاء المتخصصة لتحسين أدائها وطول عمرها في بيئات الفراغ فائق الجودة المطلوبة.