vàlvula UHV
Una vàlvula de porta UHV és un component crític en sistemes d'ultra-alta vacú, dissenyat per oferir una aïllació i control fiables dels cambres de vacú. Aquesta sofisticada vàlvula opera utilitzant un mecanisme de porta que es mou perpendicularment a la direcció del flux, creant un tancament absolut quan està tancada. La construcció de la vàlvula normalment inclou cossos d'acer inoxidable amb materials d'estanquimat especialitzats que poden resistir condicions d'extrem vacú, arribant sovint a pressions tan baixes com 10^-11 mbar. El disseny incorpora un actuador pneumàtic o manual que impulsa la planxa de la porta, assegurant un control precís de l'entorn de vacú. Aquestes vàlvules estan enginyades amb particular atenció a la neteja i la compatibilitat dels materials, sovint incloent tancaments totalment metàl·lics i una construcció apta per ser cuinada que pot resistir temperatures fins a 200°C o superiors. Les components interns estan dissenyades cuidadosament per minimitzar la generació de partícules i el desgasat, fent-les ideals per a aplicacions sensibles en la fabricació de semiconductors, laboratoris de recerca i sistemes de depòsit de films finals. Les vàlvules de porta UHV modernes sovint inclouen indicadors de posició, capacitats d'interblocat i opcions de revestiment especials per millorar-ne el rendiment i la longevitat en entorns d'ultra-alta vacú exigents.