uHV-Schieberventil
Ein UHV-Schwingventil ist ein entscheidendes Bauelement in ultra-hohen Vakuumanlagen, das dazu gedacht ist, eine zuverlässige Isolierung und Kontrolle von Vakuumbereichen bereitzustellen. Dieses hochentwickelte Ventil funktioniert durch die Verwendung eines Schwenkmechanismus, der senkrecht zur Strömungsrichtung bewegt wird und einen absoluten Dichtungseffekt erzeugt, wenn es geschlossen ist. Die Bauweise des Ventils umfasst typischerweise Edelstahlgehäuse mit speziellen Dichtungsmaterialien, die extreme Vakuumbedingungen aushalten können, wobei Drücke bis zu 10^-11 mbar erreicht werden können. Das Design enthält einen pneumatischen oder manuellen Aktor, der die Schwenkplatte steuert und so eine präzise Kontrolle über die Vakuumumgebung gewährleistet. Diese Ventile werden unter besonderer Berücksichtigung von Sauberkeit und Materialkompatibilität hergestellt und oft mit vollmetallischen Dichtungen und backfähigen Konstruktionen versehen, die Temperaturen bis zu 200°C oder höher aushalten können. Die internen Komponenten sind sorgfältig entworfen, um Partikelbildung und Ausgasen zu minimieren, was sie ideal für sensible Anwendungen in der Halbleiterherstellung, Forschungslaboren und Dünnfilmablagerungssystemen macht. Moderne UHV-Schwingventile umfassen oft Positionsanzeiger, Sperrfunktionen und spezialisierte Beschichtungsoptionen, um ihre Leistung und Haltbarkeit in anspruchsvollen ultra-hohen Vakuumumgebungen zu verbessern.