vanne à guillotine UHV
Une valve à clapet UHV est un composant critique dans les systèmes sous vide ultra-haut, conçue pour fournir une isolation et un contrôle fiables des chambres à vide. Cette valve sophistiquée fonctionne en utilisant un mécanisme de clapet qui se déplace perpendiculairement à la direction d'écoulement, créant un joint absolu lorsque la valve est fermée. La construction de la valve présente généralement des corps en acier inoxydable avec des matériaux de joint spécialisés pouvant résister à des conditions de vide extrême, atteignant souvent des pressions aussi basses que 10^-11 mbar. Le design intègre un actionneur pneumatique ou manuel qui entraîne la plaque de clapet, assurant un contrôle précis de l'environnement sous vide. Ces vannes sont conçues avec une attention particulière à la propreté et à la compatibilité des matériaux, présentant souvent des joints entièrement métalliques et une construction chauffable pouvant résister à des températures allant jusqu'à 200°C ou plus. Les composants internes sont soigneusement conçus pour minimiser la génération de particules et l'outgassing, les rendant idéaux pour des applications sensibles dans la fabrication de semi-conducteurs, les laboratoires de recherche et les systèmes de dépôt de films minces. Les vannes à clapet UHV modernes incluent souvent des indicateurs de position, des capacités d'interblocage et des options de revêtement spécialisées pour améliorer leur performance et leur durée de vie dans des environnements sous vide ultra-haut exigeants.