scáthán ghiobnaithe uhv
Is comhponnt uasail é gheata UHV i scilteání faoi ródéifíocht uafásach, cruthaithe chun soláthar dearfach a thabhairt don eagrú agus don iolrú de shuíomhacha fuaith. Tá an gheata sochtheicniúil seo oibríochta ag úsáid méadúnacht gheata atá ag bogadh cothrom leis an gcás cúram, ag cruthú seal dílis nuair a dhúnfar é. Is gnách go bhfuil an chosaint chrua na ngeataí bunaithe ar phréamhanna stáinléis le hiolra speisialta do mhínithe sealadh a dtagann tríd cásanna fuathmhar, ag éirí go luath mar 10^-11 mbar. Tá an chóras cruthaithe ag feabhsú actiúire pneiméadach nó lámhfhreaonaíochta a bhrúann ar pháipéar na gheata, chun cinneadh iontach a chur ar theangaidh fuaith. Cruthaítear na gheataí seo le sábháil árd ar fhoiseacht agus comhlíonacht máteriál, ag feabhsú sealsanna gach-mhétar agus chruthaí cabhrach a dtagann tríd téamhlaigh go háirithe go dtí 200°C nó níos airde. Tá na comhphánta inmheánacha cruthaithe go cinnte chun géintseáil phríomhshluaite agus íseal-ghearrtóirí a laghdú, ag déanamh acu idéala don úsáid faoi mhéid i bhfoirmiú seimicondictior, labaráidí taighde, agus scilteání cur chuige dá fhill.