उएचवी गेट वैल्व
एक अत्यधिक उच्च वाकुम (UHV) गेट वैल्व अत्यधिक उच्च वाकुम प्रणालियों में एक महत्वपूर्ण घटक है, जो वाकुम कैम्बर के विश्वासनीय अलगाव और नियंत्रण प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह सूक्ष्म वैल्व एक गेट मेकेनिज़्म का उपयोग करके कार्य करता है, जो प्रवाह दिशा के लम्बवत चलता है, बंद होने पर पूर्ण रूप से एक बंद बंदन का निर्माण करता है। वैल्व का निर्माण आमतौर पर स्टेनलेस स्टील शरीरों से होता है, जिसमें विशेष रूप से बनाई गई बंदन सामग्रियाँ होती हैं जो अत्यधिक वाकुम स्थितियों का सामना कर सकती हैं, अक्सर 10^-11 mbar तक की दबाव पहुँच जाती है। इसके डिज़ाइन में एक हवाई या हाथ से चलायी गई एक्चुएटर शामिल है जो गेट प्लेट को चलाती है, जिससे वाकुम परिवेश पर सटीक नियंत्रण होता है। ये वैल्व सफाई और सामग्री संगति पर विशेष ध्यान देकर डिज़ाइन किए गए हैं, जिनमें अक्सर सभी-धातु के बंदन और बेकेबल निर्माण शामिल हैं जो 200°C या इससे अधिक तापमान सहन कर सकते हैं। आंतरिक घटकों का डिज़ाइन कण उत्पादन और आउटगैसिंग को न्यूनतम करने के लिए किया गया है, जिससे वे अर्थशास्त्र उत्पादन, अनुसंधान प्रयोगशालाओं और पतले फिल्म डिपॉजिशन प्रणालियों में संवेदनशील अनुप्रयोगों के लिए आदर्श होते हैं। आधुनिक UHV गेट वैल्व में अक्सर स्थिति संकेतक, इंटरलॉक क्षमता और विशेष कोटिंग विकल्प शामिल होते हैं जो उनकी क्षमता और लंबे समय तक की जीवन की अवधि में बढ़ावा देते हैं अत्यधिक उच्च वाकुम परिवेशों में।