valvola a disco aperto uhv
Un valvola a sbarra UHV è un componente critico nei sistemi ad ultra-alto vuoto, progettato per fornire un'isolazione e un controllo affidabili delle camere di vuoto. Questa sofisticata valvola funziona utilizzando un meccanismo a sbarra che si muove perpendicolarmente alla direzione del flusso, creando un sigillo assoluto quando è chiusa. La costruzione della valvola generalmente presenta corpi in acciaio inossidabile con materiali di sigillatura specializzati in grado di resistere a condizioni di vuoto estremo, spesso raggiungendo pressioni basse come 10^-11 mbar. Il design include un attuatore pneumatico o manuale che guida la piastrella a sbarra, garantendo un controllo preciso dell'ambiente di vuoto. Queste valvole sono ingegnerizzate prestando particolare attenzione alla pulizia e alla compatibilità dei materiali, spesso dotate di sigilli completamente metallici e costruzioni adattabili al forno che possono resistere a temperature fino a 200°C o superiori. I componenti interni sono progettati attentamente per minimizzare la generazione di particelle e l'outgassing, rendendole ideali per applicazioni sensibili nella produzione di semiconduttori, laboratori di ricerca e sistemi di deposizione di film sottili. Le moderne valvole a sbarra UHV includono spesso indicatori di posizione, capacità di interlock e opzioni di rivestimento speciali per migliorare le loro prestazioni e durata in ambienti ad ultra-alto vuoto impegnativi.