zawór bramkowy uhv
Zawór bramkowy UHV jest kluczowym elementem w systemach ultra-wysokiego próżni, zaprojektowanym do zapewnienia niezawodnej izolacji i kontroli komor próżniowych. Ten zaawansowany zawór działa poprzez wykorzystanie mechanizmu bramkowego, który porusza się prostopadle do kierunku przepływu, tworząc idealne szczelne zamknięcie po zamykaniu. Konstrukcja zaworu zwykle obejmuje korpusy z nierdzewnej stali z specjalnymi materiałami pieczęciowymi, które mogą wytrzymać ekstremalne warunki próżniowe, osiągając ciśnienia aż do 10^-11 mbar. Projekt uwzględnia pneumatyczny lub ręczny aktuator napędzający płytę bramkową, co gwarantuje precyzyjną kontrolę środowiska próżniowego. Te zawory są konstruowane z szczególną uwagą na czystość i zgodność materiałów, często wyposażone w całościowo metalowe pieczątki i konstrukcję podgrzewaną, która może wytrzymać temperatury do 200°C lub wyższe. Wewnętrzne elementy są starannie zaprojektowane, aby minimalizować generowanie cząstek i odparowywanie, co czyni je idealnymi dla wrażliwych zastosowań w produkcji półprzewodników, laboratoriach badawczych i systemach depozycji cienkich warstw. Nowoczesne zawory bramkowe UHV często obejmują wskaźniki pozycji, możliwości interblokady oraz specjalne opcje pokrycia, które ulepszają ich wydajność i trwałość w wymagających środowiskach ultra-wysokiej próżni.