uhv luckorvärde
En UHV-gatevalv är en kritisk komponent i ultra-högvakuum-system, utformat för att tillhandahålla pålitlig isolering och kontroll av vakuumkammrar. Detta sofistikerade valvet fungerar genom att använda en gate-mekanism som rör sig vinkelrätt mot flödesriktningen, skapar därmed en absoluttät när det är stängt. Valvets konstruktion inkluderar vanligtvis rostfria stålshus med specialiserade tätmaterial som kan motstå extremt höga vakuumförhållanden, ofta med tryck så lågt som 10^-11 mbar. Designen omfattar en pneumatisk eller manuell aktuator som drar gateplattan, vilket säkerställer precist kontroll över vakuummiljön. Dessa valv är konstruerade med särskild uppmärksamhet till renskap och materialkompatibilitet, ofta med alla-metalltätningar och ugnssäker konstruktion som kan motstå temperaturer upp till 200°C eller högre. De interna komponenterna är noggrant utformade för att minimera partikelgenerering och utgaser, vilket gör dem idealiska för känsliga tillämpningar inom halvledarskapande, forskningslaboratorier och tunnfilmsdepositions-system. Moderna UHV-gatevalv inkluderar ofta positionsindikatorer, spärrfunktioner och specialcoating-alternativ för att förbättra deras prestanda och hållbarhet i krävande ultra-högvakuum-miljöer.