uhv kapak vanası
Bir UHV kapalı vana, ultra-yüksek vakum sistemlerinde, vakum odalarının güvenilir bir şekilde izole edilmesi ve kontrol edilmesi için tasarlanmış kritik bir bileşenmdir. Bu sofistike vana, kapalıyken mutlak bir sigorta yaratan, akış yönüne dik hareket eden bir kapı mekanizması kullanarak çalışır. Vana'nın yapımı genellikle ekstrem vakum koşullarına dayanabilen özel sigorta malzemeleri ile donatılmış çelik gövdeler içerir ve sıkça 10^-11 mbar'a kadar olan basınlara ulaşabilir. Tasarım, kapı platosunu sürmek için pnömatik veya elle işletilen bir aktüatör içerir, bu da vakum ortamı üzerinde kesin kontrol sağlar. Bu vanalar, temizlik ve malzeme uyumluluğuna özel dikkat göstererek tasarlanmıştır ve genellikle tüm-metallerden sigortalar ve 200°C veya daha yüksek sıcaklıklara dayanabilen pişirilebilir yapılar içerir. İç bileşenler, parçacık üretimini ve dışgaz salınmasını minimize etmek için dikkatlice tasarlanmıştır, bu da onları semiiletken üretimi, araştırma laboratuvarları ve ince film yerleştirme sistemleri gibi hassas uygulamalar için ideal hale getirir. Modern UHV kapalı vanalar, performanslarını ve uzun ömürlülüklerini zor ultra-yüksek vakum ortamlarında artırmak için pozisyon göstergeleri, kilitleme yetenekleri ve özel kaplama seçenekleri içerebilir.