van cổng uhv
Van cổng UHV là một thành phần quan trọng trong các hệ thống chân không siêu cao, được thiết kế để cung cấp sự cô lập và kiểm soát đáng tin cậy cho các buồng chân không. Van phức tạp này hoạt động bằng cách sử dụng cơ chế cổng di chuyển vuông góc với hướng dòng chảy, tạo ra một lớp kín tuyệt đối khi đóng. Cấu trúc của van thường bao gồm thân thép không gỉ với các vật liệu niêm phong chuyên dụng có khả năng chịu được điều kiện chân không cực đoan, thường đạt áp suất thấp tới 10^-11 mbar. Thiết kế bao gồm bộ tác động khí nén hoặc thủ công điều khiển tấm cổng, đảm bảo kiểm soát chính xác môi trường chân không. Các van này được thiết kế đặc biệt chú trọng đến độ sạch và khả năng tương thích của vật liệu, thường có các niêm phong toàn kim loại và cấu trúc có thể nung nóng ở nhiệt độ lên tới 200°C hoặc cao hơn. Các bộ phận bên trong được thiết kế cẩn thận để giảm thiểu việc sinh ra hạt và thoát khí, khiến chúng lý tưởng cho các ứng dụng nhạy cảm trong sản xuất bán dẫn, phòng thí nghiệm nghiên cứu và hệ thống phủ màng mỏng. Các van cổng UHV hiện đại thường bao gồm chỉ báo vị trí, khả năng khóa liên động và các tùy chọn phủ chuyên dụng để tăng cường hiệu suất và tuổi thọ trong các môi trường chân không siêu cao khắc nghiệt.